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1单晶炉装料量（单台机产能多少） 2 能拉多长、几寸的硅棒 3 拉晶整棒率多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、电子分布均匀度等） 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
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